一种硬脆单晶圆柱外圆超声振动辅助磨削的全自动磨床
公告号:
CN114227402A
价格:
¥21000.00
专利类型:
发明专利
专利状态:
实质审查
申请日:
2021-12-27
公告日:
2022-03-25
发明人:
薄鹏宇
申请人:
南京创维镜成科技有限公司
专利权人:
南京创维镜成科技有限公司
当前专利权人:
南京创维镜成科技有限公司
ICP分类号:
B24B5/04; B24B1/04; B24B41/02; B24B41/06; B24B47/04
法律状态:
实质审查