基于光干涉的位移测量装置
公告号:
CN105674888B
价格:
¥11900.00
专利类型:
发明专利
专利状态:
授权
申请日:
2016-01-27
公告日:
2018-07-06
发明人:
林澎; 孙荣敏; 龙盛保; 胡江如; 韦家见; 陈水清; 唐丽媛; 李金丽; 林伟健; 龚英姬
申请人:
广西科技大学鹿山学院
专利权人:
广西科技大学鹿山学院
当前专利权人:
马鞍山纽泽科技服务有限公司
ICP分类号:
G01B11/02
法律状态:
有效专利