基于硅通孔的转接板及其制备方法
公告号：
CN108010853B
价格：
面议
专利类型：
发明专利
专利状态：
授权
申请日：
2017-12-15
公告日：
2021-06-22
发明人：
张捷
申请人：
西安科锐盛创新科技有限公司
专利权人：
西安科锐盛创新科技有限公司
当前专利权人：
西安科锐盛创新科技有限公司
ICP分类号：
H01L21/48; H01L23/492; H01L21/306
法律状态：
有效专利
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