一种光刻机小工件卡具的使用方法
公告号：
CN108941942A
价格：
面议
专利类型：
发明专利
专利状态：
实质审查
申请日：
2018-09-06
公告日：
2018-12-07
发明人：
徐文峰; 廖晓玲; 徐紫宸; 杨梅
申请人：
重庆科技学院
专利权人：
重庆科技学院
当前专利权人：
重庆科技学院
ICP分类号：
B23K26/70; B23K37/04
法律状态：
实质审查
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